TSMC ????????? ? ????????? ???????????? ?? ?????????? 2-?? ???????????????? ????????, ??????? ?????? ???????? ? 2025 ????. ????????? ????????? ?????????? ???????? ??????? ???????????? ??? EUV-??????????. ? ??????? ????????? ???? ??? TSMC ??????? ????? 60 EUV-????? ?? ????? ????? 400 ?????????? ??????????? ???????? (????? 4 ?????????? ???????? ???).

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? ??? ?????????????? ????????? ?????? ASML ????????????? ???? ???????????????? ?????????, ??????????? ????????? 53 ?????? ? ???? ???? ? ????? ? ?? ????? 72 ? ?????????. ? 2025 ???? ASML ????????? ????????? 90 EUV, 600 DUV ? 20 High-NA EUV ?????.